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主要特點(diǎn)：1、轉(zhuǎn)移效果良好

主要特點(diǎn)：1、設(shè)備采用高照度、高均勻性的365納米紫外光學(xué)系統(tǒng)

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主要特點(diǎn)：設(shè)備特點(diǎn)：1、廣角輪廓相機(jī)進(jìn)行輪廓識(shí)別

主要特點(diǎn)：1、剝離工藝效果穩(wěn)定

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主要特點(diǎn)：設(shè)備特點(diǎn)：適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍(lán)寶石芯片生產(chǎn)中的光刻工藝，采用超大曝光視場(chǎng)，大大減少曝光次數(shù)，顯著提高產(chǎn)能；同時(shí)該設(shè)備具有高分辨率、高線...

主要特點(diǎn)：設(shè)備特點(diǎn)：設(shè)備功能集成度高

主要特點(diǎn)：設(shè)備特點(diǎn)：1、長(zhǎng)焦深